Физические основы кремниевой наноэлектроники
Зебрев Г.И.
Книга посвящена описанию основных физических принципов, структур и методов моделирования, а также тенденций развития современной и перспективной кремниевой наноэлектроники с технологическими нормами менее 100 нм. Для преподавателей и студентов, специализирующихся по направлениям микро- и наноэлектроники, электроники, электронных измерительных систем. Может быть использована в учебном процессе при подготовке учебных курсов: Физические основы наноэлектроники, Наноэлектронные технологии, Физика микроэлектронных структур.
Έτος:
2015
Έκδοση:
3
Εκδότης:
Издательство "Лаборатория знаний" (ранее "БИНОМ. Лаборатория знаний")
Γλώσσα:
russian
Σελίδες:
243
ISBN 10:
5996326302
ISBN 13:
9785996326303
Σειρές:
Нанотехнология
Αρχείο:
PDF, 4.62 MB
IPFS:
,
russian, 2015