Технология СБИС: В 2-х кн
К.Пирс, А.Адамс, Л.Кац, Дж.Цай, Т.Сейдел, Д.Макгиллис. Под редакцией С.Зи. Перевод с английского.
Аннотация издательства: В книге ведущих американских специалистов освещены вопросы технологии изготовления кремниевых ИС. В книге 1 рассмотрены вопросы получения монокристаллов кремния, подготовки подложек, выращивания эпитаксиальиых слоев, осаждения пленок различных материалов, термического окисления, диффузии, ионной имплантации, а также литографические методы формирования топологических рисунков с субмикронными размерами элементов. Для студентов старших курсов вузов соответствующего профиля, аспирантов и специалистов в области проектирования, технологии изготовления и применения ИС.
Κατηγορίες:
Τόμος:
Кн. 1
Έτος:
1986
Εκδότης:
Мир Редакция литературы по новой технике
Γλώσσα:
russian
Σελίδες:
201
ISBN 10:
2403000000
ISBN 13:
9782403000009
Αρχείο:
DJVU, 5.42 MB
IPFS:
,
russian, 1986
Litres
Θέλετε να προσθέσετε βιβλιοπωλείο; Επικοινωνήστε μαζί μας στο support@z-lib.do
Μετατροπή αρχείων
Περισσότερα αποτελέσματα αναζήτησης
Λοιπά πλεονεκτήματα 
